Microtecnología : diario de un proceso ; fabricación de un microacelerómetro /
Fabricación de un microacelerómetro.
María Cruz Acero, Jaume Esteve, José Antonio Plaza y Emilio Lora-Tamayo.
- 1 online resource (154 pages) : ill. (some col.), maps.
- Biblioteca de Ciencias ; 36. .
- Biblioteca de Ciencias (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (España)) ; 36. .
Includes bibliographical references and index.
9788400091637
Microelectronics. Microelectromechanical systems--Design and construction. Accelerometers.